
测量方法
产品概述与应用
技术参数
左右滑动表格,可查看完整参数。
| CXR-bgn 轮廓仪 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 测量范围 | 驱动器 | 0-200mm | 0.1μm |
| 传感器 | ±15mm | 0.02μm | |
| 立柱 | 0-420mm | ||
| 线性精度 | ≤(1+L/50)um | ||
| 圆弧精度 | ≤±(1.3+R/12)μm | ||
| 角度 | ± 1' | ||
| 直线度 | ≤0.5μm/100mm | ||
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| CXR-bgn 轮廓仪 技术参数 | |||
|---|---|---|---|
| 测量范围 | 驱动器 | 0-200mm | 0.1μm |
| 传感器 | ±15mm | 0.02μm | |
| 立柱 | 0-420mm | ||
| 线性精度 | ≤(1+L/50)um | ||
| 圆弧精度 | ≤±(1.3+R/12)μm | ||
| 角度 | ± 1' | ||
| 直线度 | ≤0.5μm/100mm | ||
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