
测量方法
产品概述与应用
技术参数
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| QR系列表面粗糙度测量仪 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 粗糙度传感器 | 量程 | ±420μm |
| 分辨率 | 65536:1 | |
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(8nm+3.5%) |
| 残值噪声 | ≤0.008μm | |
| 重复性 | 1δ≤1.5nm | |
| 截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 评定长度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |
| 驱动速度 | X轴驱动方式 | 电动 |
| Y轴驱动方式 | 电动 | |
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