
测量方法
产品概述与应用
技术参数
左右滑动表格,可查看完整参数。
| STR-1500vf 直线度测量仪 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 测量范围 | X轴行程 | 150mm |
| Z轴行程 | 150mm | |
| 传感器 | ±300μm | |
| 电箱解调精度 | 0.05μm | |
| 导轨直线度误差¹ | 0.25μm/100mm | |
| Uc直线度 | Uc=0.3μm/60mm Uc=0.5μm/150mm | |
| 测量速度 | 手动 | 10mm/s |
| 自 动 | 2mm/s | |
注:
1、以ls参考直线的最大偏差值,λc为2.5mm,测量速度为1mm/s,测头直径为Φ2mm。
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