多级罗茨型干泵 Model:HR
关于Model:HR的介绍、购买、商讨。高温区域均热化 实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。“ Model:UR ” 可比 “Model: HR ” 更加高温化
- 型号
- HR
- 产品分类
- 多级罗茨型干泵
- 型号
- HR60 / HR90 / HR300 / HR600 / HR1200
- 使用泵
- 干式真空泵 / HR60 / HR90 / HR60 / HR90 / HR90
多级罗茨型干泵 Model:LR
关于Model:LR的介绍、购买、商讨。低温区域均热化（Model:LR） 在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵
- 型号
- LR
- 产品分类
- 多级罗茨型干泵
- 型号
- LR60 / LR90 / LR180 / LR421 / LR421-T
- 最大 排气速度
- 50Hz / 62 m 3 /h (1030 L/min) / 112 m 3 /h (1860 L/min) / 183 m 3 /h (3100 L/min) / 440 m 3 /h (7333 L/min) / 440 m 3 /h (7333 L/min)
多级罗茨型干泵 Model:RDA-281H
关于Model:RDA-281H的介绍、购买、商讨。●：标准、○：可选对应、－：对应不可。2 吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障
- 型号
- RDA-281H
- 产品分类
- 多级罗茨型干泵
- 有效排气速度
- L/min / 280
- 极限压力：F.A开时（F.A关时） ※
- Pa / ≦8.0×10 -2 （≦6.0）
多级罗茨型干泵 Model:RDA-501H
关于Model:RDA-501H的介绍、购买、商讨。Analytical equipment.。Gas recovery system.。Coating equipment.
- 型号
- RDA-501H
- 产品分类
- 多级罗茨型干泵
- 有效排气速度
- L/min / 500
- 极限压力：F.A开时（F.A关时） ※
- Pa / ≦8.0×10 -2 （≦6.0）
多级罗茨型干泵 Model:RS
关于Model:RS的介绍、购买、商讨。■ 大气压附近的排气速度高，可以缩短排气时间。■ ECO-SHOCK技术实现低功耗（C型号） 极限压力下的功耗为0.6 kW或更低（LS120A-C） ■ 配有专用的消音器 极限压力下的噪音水平为61 dB（A）或更低 ■ 无需先前所需要的轴封气体 ※L型可以使用稀释气体
- 型号
- RS
- 产品分类
- 多级罗茨型干泵
- 消音器 套件名称
- 适用泵 / 附属品
- 卡箍
- O型座 / 连接配管 / 支架
油回转真空泵 耐腐蚀规格 Model:GCD-051X
关于Model:GCD-051X的介绍、购买、商讨。气体接触面已做表面处理，可适用于化学气体。安装了防回流机构，在因停电而停止时，可以防止油流回真空室。通过内部零件上的定位销，连接法兰部件更容易
- 型号
- GCD-051X
- 产品分类
- 油回转真空泵 耐腐蚀规格
- Unit
- 50Hz / 60Hz
- 有效排气速度
- L/min / 50 / 60
油回转真空泵 耐腐蚀规格 Model:GCD-136X
关于Model:GCD-136X的介绍、购买、商讨。气体接触面已做表面处理，可适用于化学气体。安装了防回流机构，在因停电而停止时，可以防止油流回真空室。通过内部零件上的定位销，连接法兰部件更容易
- 型号
- GCD-136X
- 产品分类
- 油回转真空泵 耐腐蚀规格
- Unit
- 50Hz / 60Hz
- 有效排气速度
- L/min / 135 / 162
油回转真空泵 耐腐蚀规格 Model:GCD-201X
关于Model:GCD-201X的介绍、购买、商讨。气体接触面已做表面处理，可适用于化学气体。安装了防回流机构，在因停电而停止时，可以防止油流回真空室。通过内部零件上的定位销，连接法兰部件更容易
- 型号
- GCD-201X
- 产品分类
- 油回转真空泵 耐腐蚀规格
- Unit
- 50Hz / 60Hz
- 有效排气速度
- L/min / 200 / 240
油回转真空泵 高功能规格 Model:GLD-040
关于Model:GLD-040的介绍、购买、商讨。两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力（良好的真空）。安装了防回流机构，在因停电而停止时，可以防止油流回真空室
- 型号
- GLD-040
- 产品分类
- 油回转真空泵 高功能规格
- Unit
- 50Hz / 60Hz
- 有效排气速度
- L/min / 40 / 48
油回转真空泵 高功能规格 Model:GLD-137AA(日本产) / GLD-N137(中国产)
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- 型号
- GLD-137AA(日本产) / GLD-N137(中国产)
- 产品分类
- 油回转真空泵 高功能规格
- Unit
- 50Hz / 60Hz
- 有效排气速度
- L/min / 135 / 162
油回转真空泵 高功能规格 Model:GLD-137CC(日本产) / GLD-N137(中国产)
Model:GLD-137CC(日本产) / GLD-N137(中国产)。关于Model:GLD-137CC(日本产) / GLD-N137(中国产)的介绍、购买、商讨
- 型号
- GLD-137CC(日本产) / GLD-N137(中国产)
- 产品分类
- 油回转真空泵 高功能规格
- Unit
- 50Hz / 60Hz
- 有效排气速度
- L/min / 135 / 162
油回转真空泵 高功能规格 Model:GLD-202AA(日本产) / GLD-N202(中国产)
Model:GLD-202AA(日本产) / GLD-N202(中国产)。关于Model:GLD-202AA(日本产) / GLD-N202(中国产)的介绍、购买、商讨
- 型号
- GLD-202AA(日本产) / GLD-N202(中国产)
- 产品分类
- 油回转真空泵 高功能规格
- Unit
- 50Hz / 60Hz
- 有效排气速度
- L/min / 200 / 240
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