
测量方法
产品概述与应用
技术参数
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| Surf10-vf系列 轮廓度和粗糙度测量仪 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 行程长度 | 0.1-130mm | |
| 距离测量显示误差EA(MPE EA)¹ | ±(1+L/150)μm | |
| 半径测量显示误差Rk(MPER)¹ | R≤10mm:±lμm 10mm<R≤20mm:±(0.17+R/12)μm | |
| 残余误差² | 1.8nm | |
| 测量速度 | 轮廓测量速度 | 0.02-2mm/s |
| 粗糙度推荐测量速度 | 0.1mm/s-0.5mm/s | |
| X方向取样间距 | 0.02μm至50μm, 可调整 | |
| 每次测量最多测量点 | 7500000点 | |
| X轴分辨率 | 1.2nm | |
| 测头测量范围 | 15mm | |
| 测头分辨率 | 1.2nm | |
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