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原子层沉积系统ASM International型号 XP4 EmerALD

XP4 EmerALD 是 ASM 官网列出的 ALD 工艺模块，用于沉积薄的共形金属层和介电层，适用于先进 CMOS 栅堆栈等应用。

型号: XP4 EmerALD
产品名称: XP4 EmerALD®
产品说明: EmerALD is a process module designed to deposit thin conformal metal and dielectric layers by atomic layer deposition (ALD) used for advanced CMOS gate stacks and other applications.

广西科米瑞实验仪器设备有限公司 · 第 1 / 1 页 · 共 1 条

原子层沉积系统ASM International型号 XP4 EmerALD

XP4 EmerALD 是 ASM 官网列出的 ALD 工艺模块，用于沉积薄的共形金属层和介电层，适用于先进 CMOS 栅堆栈等应用。

型号: XP4 EmerALD
产品名称: XP4 EmerALD®
产品说明: EmerALD is a process module designed to deposit thin conformal metal and dielectric layers by atomic layer deposition (ALD) used for advanced CMOS gate stacks and other applications.