
Xtrology
规格参数。膜层厚度 测量薄膜厚度与薄膜质量,单层或多层分析 光学特性 精确测量光学折射率n, 消光系数k*5, 和禁带宽度Eg*6 结晶度 材料晶体结构的均匀性评估等 成分 / 化学计量 材料成分与含量分析,均匀性评估 缺陷检测 缺陷定位与分类,颗粒检测与识别 应力 应力*7 均匀性评估 椭圆偏振光谱仪 拉曼光谱仪 / 光致发光光谱仪 薄膜厚度
- 型号/名称
- Xtrology
- 膜层厚度
- 测量薄膜厚度与薄膜质量,单层或多层分析
- 光学特性
- 精确测量光学折射率n, 消光系数k*5, 和禁带宽度Eg*6
- 结晶度
- 材料晶体结构的均匀性评估等










