CoolOne
dual stage thermo-electrically cooled PMT housing that operates in either analog, photon counting or direct out modes with the flick of a switch.
- 型号/名称
- CoolOne
- PMT 插座
- 28 mm直径，PMT侧向位置
- 制冷类型
- TE制冷
- 制冷温度
- -20 °C
CS-100 Series
CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。
- 型号/名称
- CS-100 Series
- Model name
- CS-100
- Measurement principle
- Absorption spectroscopic method
- Sample temperature
- 20 to 30 Degree C
CS-100F1 系列
在CS-100的基础上配备光纤。样品单元直接集成到于清洗系统的管路，并使用光纤电缆传输光信号，提供实时在线测量
- 型号/名称
- CS-100F1 系列
- 型号
- CS-151F1 / CS-152F1 / CS-150F1
- Target of measurement
- SC-1 (ammonia/hydrogen peroxide aqueous solution) / SC-2 (hydrochloric acid/hydrogen peroxide aqueous solution) / SPM (sulfuric acid/hydrogen peroxide aqueous solution)
- Measurement principle
- Absorption spectrometry
CS-600F
提供适合生产的更高级功能，如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力，减少停机时间的稳定运行，以及提高空间生产率的紧凑尺寸，以满足先进半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。
- 型号/名称
- CS-600F
- 型号
- CS-600F
- Measurement principle
- Absorption spectroscopic method
- Calculation principle
- Temperature compensation type multivariate analysis
CS-620F
CS-600F光纤型高温磷酸浓度计实现了更高级的功能，适合制造，以满足尖端半导体湿法工艺所需的化学药液浓度管理。
- 型号/名称
- CS-620F
- CS-700 High Precision, High Stability Chemical Concentration Monitor
- CS-600F Fiber Optic Type Chemical Concentration Monitor / HF HD-960L Dissolved Oxygen Monitor in Low Concentration
- Product name
- CHEMICAL SOLUTION MONITOR
- 型号
- CS-620F
CS-700
HORIBA 化学药液浓度计能够对先进半导体制程中使用的复杂化学药液的单个化学成分进行高性能测量。
- 型号/名称
- CS-700
- Component
- Measurable range / Repeatability
- 1st solution
- HNO3 / 30.0 - 34.0 / ±0.5
- HF
- 2.00 - 4.00 / ±0.10
CS-900
为达到半导体湿法制程中所需的严格化学药液浓度控制，HORIBA 通过设计紧凑设备，以及通过其原有传感器设计保持稳定测量和确保操作人员安全，实现更强大功能以满足需求。
- 型号/名称
- CS-900
- Model name
- Non-contact type chemical concentration monitor
- 型号
- CS-900
- Measurement method
- Absorption spectroscopy
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CVS-ONE
系列产品设计用于测量整车和发动机排放的稀释后的尾气成分。
- 型号/名称
- CVS-ONE
- 型号
- CVS-ONE -SV / CVS-ONE -SV-HE / CVS-ONE -MV / CVS-ONE -MV-HE
- 流量控制
- 临界流量文丘里管 (CFV)* 后面简称文氏管
- 流量切换
- 手动 (单文氏管系统) / 自动 (多文氏管系统)
D700MG
Ultra Highly Reliable, Repeatable and High-Speed Precision Mass Flow Control Module for Critical Semiconductor Manufacturing Process
- 型号/名称
- D700MG
D700T
- 型号/名称
- D700T
D700uF
- 型号/名称
- D700uF
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