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真空泵与气体处理仪器AML型号 ROCK

AML ROCK 超高真空对准晶圆键合机

ROCK 是 Applied Microengineering Ltd. 的 Aligner Wafer Bonder，具备原位对准和超高真空能力。ROCK 在 AWB 功能基础上增加 UHV 能力

型号: ROCK
英文产品名称: ROCK | Aligner Wafer Bonder
能力: 原位对准和超高真空
键合压力范围: 2.5 x 10^-3 mbar 至 2 bar absolute

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光谱与元素分析仪器Annealsys型号 AS-Micro

Annealsys AS-Micro 3 英寸快速热处理系统

AS-Micro 是紧凑型台式 3 英寸 rapid thermal processor，面向研究应用。该设备可处理从数平方毫米到 3 英寸直径或方形的基片

型号: AS-Micro
处理尺寸: 最高 3 英寸直径或方形基片
最高温度: 1250°C
升温速率: > 250°C/s

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实验室通用仪器设备Annealsys型号 AS-One

Annealsys AS-One RTP / RTA-CVD 炉

AS-One 可用于 rapid thermal annealing 和 rapid thermal CVD 工艺开发。AS-One 100 可处理最高 100 mm 基片，AS-One Plus 可处理最高 150 mm 直径基片

型号: AS-One
型号尺寸: AS-One 100 / AS-One Plus
处理尺寸: 最高 100 mm 或 150 mm 直径基片
工艺: RTA、RTO、RTN、CVD 等

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样品制备与纯化仪器Annealsys型号 Zenith Series

Annealsys Zenith 系列高温 RTP 炉

Zenith 系列用于最高 2000°C 的高温 RTP 工艺，页面列出可在 2000°C 运行 1 小时。Zenith 100 可处理最高 100 mm 晶圆，Zenith 200 可处理最高 200 mm 样品

型号: Zenith Series
处理尺寸: Zenith 100 最高 100 mm；Zenith 200 最高 200 mm
最高温度: 2000°C
温度测量: pyrometer 和 thermocouple

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真空泵与气体处理仪器Annealsys型号 AS-Premium

Annealsys AS-Premium 方腔 RTP 系统

AS-Premium 是多配置 RTP 平台，可处理硅和化合物半导体晶圆。该系统可用于手动上样的研发应用，也可用于 cassette-to-cassette atmospheric robot loading 或 vacuum cluster tool 的生产应用

型号: AS-Premium
处理尺寸: 最高 150 mm 直径或 156 x 156 mm²
装载方式: 手动上样、cassette-to-cassette 或 vacuum cluster tool
能力: oxygen free environment，取决于配置

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显微成像与表征仪器Annealsys型号 AS-Master

Annealsys AS-Master 200 mm RTP / RTCVD 系统

AS-Master 是 200 mm RTP/RTCVD 系统，可从室温到 1450°C、低至 10^-6 Torr 运行。

型号: AS-Master
处理尺寸: 200 mm
温度范围: 室温至 1450°C
真空水平: 低至 10^-6 Torr

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显微成像与表征仪器Annealsys型号 Jipelec JetFirst 300

Annealsys Jipelec JetFirst 300 快速热退火系统

JetFirst 300 是 300 mm cold wall chamber rapid thermal annealing system。该系统标配 gas mixing 和 vacuum capability

型号: Jipelec JetFirst 300
反应腔: 300 mm cold wall chamber
样品尺寸: 最高 12 英寸；8 英寸样品优化
温度测量: optical pyrometer 和 thermocouple

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光谱与元素分析仪器Annealsys型号 Jipelec JetLight

Annealsys Jipelec JetLight 2 英寸快速热退火设备

JetLight 是 compact table top two-inch rapid thermal processor，面向研究应用。该设备可处理从数平方毫米到 2 英寸直径的基片

型号: Jipelec JetLight
处理尺寸: 最高 2 英寸直径
最高温度: 1000°C
能力: 真空能力

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光谱与元素分析仪器Annealsys型号 MC-050

Annealsys MC-050 2 英寸 DLI-CVD 系统

MC-050 是 2 英寸 DLI-CVD / DLI-ALD 反应器，可在同一工艺腔内实现 CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。

型号: MC-050
工艺能力: DLI-CVD、DLI-ALD、MOCVD、RTP、RTCVD
应用: 氧化物、金属、氮化物、合金、III-V、宽带隙半导体、2D 材料

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显微成像与表征仪器Annealsys型号 MC-100

Annealsys MC-100 DLI-CVD / DLI-ALD 沉积系统

MC-100 是 100 mm Direct Liquid Injection 沉积系统，可在同一工艺腔内执行 CVD、ALD 和 pulse pressure CVD。

型号: MC-100
处理尺寸: 100 mm / 4 英寸
工艺能力: CVD、ALD、pulse pressure CVD
配置: rotating substrate heater

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灭菌净化与安全防护设备Annealsys型号 MC-200

Annealsys MC-200 200 mm DLI-CVD / ALD 系统

MC-200 是面向研发的 200 mm DLI-CVD / ALD 系统，可在同一工艺腔内进行 MOCVD 和 ALD。

型号: MC-200
处理尺寸: 200 mm
工艺能力: MOCVD、ALD，可选 PE-CVD 和 PE-ALD
可选配置: motorized single wafer loadlock

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光谱与元素分析仪器Novocontrol型号 Alpha-A

Novocontrol Alpha-A 高性能模块化测量系统

Alpha-A Analyzer 页面标注为 High Performance Modular Measurement System

型号: Alpha-A
测量方向: 介电谱、阻抗谱、电导谱、增益相位

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