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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-736

P-736 PInanoZ向显微镜扫描仪

E-709数字压电陶瓷伺服控制器含在发货范围内。PInano®Z向扫描仪可与M-545显微镜平台组合，拥有25 毫米 × 25 毫米的行程。上面的例子展示的是具有特大孔径的P-736版本

型号: P-736
P-736.ZR1S: P-736.ZR2S 单位公差
主动轴: Z Z
集成传感器: 压阻式压阻式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-737

P-737 PIFOC样本Z向定位器

通孔尺寸为128.5 毫米×86.5 毫米，以容纳孔板。柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作

型号: P-737
P-737.1SL: P-737.2SL P-737.5SL 单位公差
主动轴: Z Z Z
集成传感器: 应变片传感器应变片传感器应变片传感器

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-612.2

P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位器

闭环行程100µm×100µm（开环130µm×130µm）。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环

型号: P-612.2
运动: P-612.2SL 公差
主动轴: X ǀ Y
X向的行程: 100 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-620.2

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

P-62x.2CD/.2CL/.20L，尺寸单位为mm

型号: P-620.2
运动: P-620.20L P-620.2CD P-620.2CL P-621.20L P-621.2CD P-621.2CL P-622.20L P-622.2CD P-622.2CL P-625.20L P-625.2CD P-625.2CL P-628.20L P-628.2CD P-628.2CL P-629.2CD P-629.2CL 公差
主动轴: X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y
X向的行程: — 50 µm 50 µm — 100 µm 100 µm — 250 µm 250 µm — 500 µm 500 µm — 800 µm 800 µm 1500 µm 1500 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-734

P-734 XY压电扫描仪

超高精度轨迹控制，特别适用于表面分析和扫描显微镜。更佳的响应和多轴精度：并联运动/计量。电容式传感器可实现小于0.4纳米的分辨率。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

型号: P-734
P-734.2CL: P-734.2CD 单位公差
主动轴: X, Y X, Y
集成传感器: 电容式电容式

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六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-810.I2

H-810.I2 小型六足位移台

行程：±20mm / ±20mm / ±6.5mm。旋转范围：±10° / ±10° / ±30°。最小增量运动：0.5µm / 0.5µm / 0.25µm。H-810.I2, 尺寸单位为毫米，位于标称行程的零位

型号: H-810.I2
运动: H-810.I2 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向的行程: ± 20 mm

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六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-811.F2

H-811.F2 六轴小型六足位移台

行程：±17mm / ±16mm / ±6.5mm。旋转范围：±10° / ±10° / ±21°。最小位移：0.2µm / 0.2µm / 0.08µm。水平安装时H-811.F2上的最大负载

型号: H-811.F2
运动: H-811.F2 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向上的行程: ± 17 mm

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六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-811.I2

H-811.I2 • H-811.I2HS 小型六足位移台

带电缆出口的H-811.I2HS视图。水平安装时H-811.I2和H-811.I2HS上的最大负载。垂直安装时H-811.I2和H-811.I2HS上的最大负载

型号: H-811.I2
运动: H-811.I2 H-811.I2HS 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向的行程: ± 17 mm ± 17 mm

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六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-811.I2V

H-811.I2V 真空兼容小型六足位移台

行程：±17mm / ±16mm / ±6.5mm。旋转范围：±10° / ±10° / ±21°。最小位移：0.2µm / 0.2µm / 0.08µm。水平安装时H-811.I2V上的最大负载

型号: H-811.I2V
运动: H-811.I2V 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向上的行程: ± 17 mm

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六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-811.S2

H-811.S2 小型六足位移台

行程：±17mm / ±16mm / ±6.5mm。旋转范围：±10° / ±10° / ±21°。动态响应频率：30Hz（0.1°旋转范围内）。配备C-887六足控制器的六足定位系统已通过CIPA标准（相机与成像产品协会）的图像测试和相机资格应用认证

型号: H-811.S2
运动: H-811.S2 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向上的行程: ± 17 mm

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六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-815

H-815 面向24/7全天候工业应用、满足高精度要求的六足位移台

集成制动器，守护操作安全，维系过程可靠。绝对编码器提供位置信息，无需找参考位即可快速启动。构造与零部件具有高品质，以实现高精度表现。水平安装时H-815.D6A3上的最大负载

型号: H-815
运动: H-815.D6A3 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向的行程: ± 20 mm

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六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-820

H-820 六足位移台

行程：±50mm / ±50mm / ±25mm。旋转范围：±15° / ±15° / ±30°。最小增量运动5µm / 5µm / 5µm。H-820.D2，尺寸单位为毫米，位于标称行程的零位

型号: H-820
运动: H-820.D2 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向的行程: ± 50 mm

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