Beneq P400A 批量 ALD 生产系统
Beneq P400A 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的批量热 ALD 生产系统，平面基板总批量面积最高 8 m²。
- 型号
- P400A
- 工艺类型
- Thermal ALD
- 用途
- Production
- 批量面积
- up to 8 m² flat substrate total batch area
Beneq P800 大批量/大部件 ALD 系统
Beneq P800 是 Beneq 官方 P Series 产品线中的热 ALD 系统，用于超过 600 mm 的大部件或大批量小部件处理。
- 型号
- P800
- 工艺类型
- Thermal ALD
- 适用对象
- >600 mm large parts or large batches of smaller parts
- 最高温度
- 550°C
Beneq P1500 大尺寸基板 ALD 系统
Beneq P1500 产品资料称其为最大 ALD system。参数列出可容纳最高 1300 × 2400 mm 部件，采用 thermal ALD，最高温度 400°C
- 型号
- P1500
- 工艺类型
- Thermal ALD
- 最大部件尺寸
- up to 1300 × 2400 mm
- 最高温度
- 400°C
Beneq TFS 200 ALD 研发平台
Beneq TFS 200 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的 ALD 研发平台，支持晶圆、平面样品、孔隙材料和复杂 3D 结构。
- 型号
- TFS 200
- 用途
- Academic and corporate R&D
- 样品类型
- wafers, flat objects, porous samples, complex 3D structures
- PEALD
- Direct and remote PEALD standard
Beneq TFS 500 ALD 研发及批量处理系统
Beneq TFS 500 是 Beneq 官方 TFS Series 产品线中的研发和批量处理 ALD 系统，支持晶圆、平面样品与 3D 结构。
- 型号
- TFS 500
- 用途
- R&D and batch processing
- 样品类型
- wafers, flat objects, 3D structures
- 可选配置
- manual load lock, cassette loader, glove box
Beneq Genesis 卷对卷 ALD 系统
Genesis 是 Beneq 官方列出的商用 roll-to-roll ALD 系统，支持最高 420 mm web width 和 0.1-20 m/min 生产速度。
- 型号
- Genesis
- Web width
- up to 420 mm
- 涂层厚度
- up to 100 nm
- 最高温度
- 250°C
Beneq C2R 空间 ALD 系统
Beneq C2R 是 Beneq 官方 Spatial Series 产品线中的低温 PEALD 空间 ALD 系统，官方列出最高 2000 nm/h 或 0.55 nm/s 沉积速率。
- 型号
- Beneq C2R
- 工艺类型
- low-temperature PEALD spatial ALD
- 沉积速率
- up to 2000 nm/h or 0.55 nm/s
- 转速
- up to 200 rpm
Korvus Technology HEX UHV 超高真空 PVD 系统
HEX UHV 产品资料标题为 World's Most Modular UHV System，并说明其为 HEX 系列 PVD instruments 的最新发展。
- 型号
- HEX UHV
- 产品类别
- Ultra-high vacuum PVD system
- 真空能力
- 1 × 10^-10 mbar
- 平台
- HEX Series PVD instruments
HPAPI reactor systems and high containment filtration solutions
HPAPI reactor & process systems。Büchi AG is a leading Swiss manufacturer of reactor systems, pilot plants, and high-containment solutions for HPAPI (Highly Potent Active Pharmaceu
- 型号
- HPAPI reactor systems and high containment filtration solutions
YSI ProSwap 数字水质测量仪
ProSwap 为 digital water quality meter。该手持表兼容 ProDSS digital smart sensors，可用于 DO、电导率、盐度、TDS、pH、浊度、藻类和温度等水质参数测量
- 型号
- ProSwap
- SKU
- 626700-1
- 类型
- Digital Water Quality Meter
- 兼容传感器
- ProDSS digital smart sensors
YSI ProQuatro 多参数测量仪
ProQuatro 是 YSI 官方列出的便携多参数测量仪，可测 DO、电导率、盐度、TDS、pH、ORP、铵、硝酸盐、氯化物和温度等参数。
- 型号
- ProQuatro
- SKU
- 606950
- 类型
- Multiparameter Meter
- 可测参数
- DO, conductivity, salinity, TDS, pH, ORP, ammonium, nitrate, chloride, temperature
反應器與試驗工廠用努奇過濾器
玻璃釜体: 10、30、50、100、140、300 L 压力: -1.0 (FV) ~ +0.5 bar 温度: -60 °C ~ +150 °C (200 °C) 滤布：筛孔尺寸 8~115 微米 材质: 硼硅玻璃3.3、搪玻璃、PTFE、PFA、ETFE
- 型号
- 反應器與試驗工廠用努奇過濾器
- Filtration vessel
- 10, 30, 50, 100, 140, 300 liter
- Pressure
- -1.0 (FV) to +0.5 bar
- Temperature
- -60 °C to +150 °C (200 °C)
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